三氟化磷在常溫常壓下為無色無味有毒氣體。液態為無色透明?？諝庵胁惶l煙，相當穩定。加熱時與氫反應生成PH3。能被水緩慢分解成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解?？扇苡谝掖?。除在高溫外，不腐蝕玻璃。

　　性質

　　純度>99%。無色劇毒氣體。熔點-151.5℃。沸點-101.8℃。密度3.907g/cm3，（-101.8℃）1.6g/ml。溶于乙醇。遇水則緩慢水解。遇堿溶液則分解。在空氣中不發煙。除在高溫外對玻璃不起化學浸蝕?？少A存在鋼瓶中或有汞封的氣體貯存器中。在電子工業中用作磷離子注入劑。在有機合成中用作氟化劑。

　　用途

　　發生氣體、氟化劑、外延、離子注入。

　　理化性質

　　分子量：87.969

　　熔點(101.325kPa)： -151.3℃

　　沸點(101.325kPa)： -101.2℃

　　液體密度(171.95K，S.P.)： 1574kg/m

　　(0℃)： 1130kg/m

　　氣體密度(25℃，101．325kPa)： 3.590kg/m℃

　　相對密度(氣體．空氣=1，25℃，101.325kPa)：3.03

　　比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m/kg

　　臨界溫度： -2.0℃

　　臨界壓力：4326kPa

　　臨界密度： 592kg/m

　　氣化熱(171.95K)： 165.94kJ/kg

　　比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp=667.16J/(kg·K)

　　蒸氣壓(122.15K)： 1.333kPa

　　(165.15K)： 66.661kPa

　　(184.45K)： 199.983kPa

　　導熱系數(氣體，25℃，101.325kPa)：0.0164W/(m·K)

　　粘度(氣體，25℃，101.325kPa)：0.01871mPa·s

　　毒性

　　小鼠--吸入LCLo:1900mg/m·10分鐘

　　最高容許濃度：1ppm

　　三氟化磷是極毒物質。它水解生成的亞磷酸和氟化氫對皮膚、眼睛及呼吸道粘膜有刺激作用，其癥狀與五氟化磷及鹵化磷大致相同(參見氟化氫和五氟化磷)。

　　對干燥氣體可用鋼、鎳、蒙乃爾等。

　　廢棄的三氟化磷，要均勻地散布在由蘇打灰和消石灰以l：l的比例混合的混合物上面，然后進行混合伴勻，再小心地噴水霧，接著移入大量水中進行中和

　　急救措施

　　皮膚接觸:立即脫去污染的衣著，用大量流動清水沖洗。就醫。

　　眼睛接觸:立即提起眼瞼，用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘。就醫。

　　吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫。

　　食入：用水漱口，給飲牛奶或蛋清。就醫

　　消防措施

　　危險特性:接觸二氟化氧發生爆炸。與硼烷、氟、氧等發生劇烈反應。遇水或高熱能放出大量的有毒氣體。

　　有害燃燒產物:氟化氫、氧化磷;

　　滅火方法：消防人員必須佩戴過濾式防毒面具(全面罩)或隔離式呼吸器、穿全身防火防毒服，在上風向滅火。迅速切斷氣源，用水噴淋保護切斷氣源的人員，然后根據著火原因選擇適當滅火劑滅火。盡可能將容器從火場移至空曠處。噴水保持火場容器冷卻，直至滅火結束。

　　泄漏應急處理

　　迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服。從上風處進入現場。盡可能切斷泄漏源。用排風機將漏出氣送至空曠處。如有可能，將殘余氣或漏出氣用排風機送至水洗塔或與塔相連的通風櫥內。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。